Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

Autoři	KLEIN Peter HNILICA Jaroslav FEKETE Matej ŠLAPANSKÁ Marta VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Další prezentace na konferencích
Citace
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev