Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge
| Název česky | Fourierovy složky potenciálu plazmatu vodíkového kapacitně vázaného rf. výboje |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | plasma potential harmonic hydrogen |
| Popis | Měřili jsme amplitudy základní a vyšších harmonických frekvencí potenciálu plazmatu v nízkotlakém, vysokofrekvenčním (13,56 MHz), kapaciteně vázaném vodíkovém výboji. Publikujeme jejich závislosti na poloze ve výboji a na tlaku. |
| Související projekty: |