Preionised pulsed magnetron discharges for ionised physical vapour deposition

• Název česky: Preionizovany pulzni magnetronovy vyboj pro IPVD
• Autoři: GANCIU Mihai; KONSTANTINIDIS Stephanos; PAINT Yoann; DAUCHOT Jean-Pierre; HECQ Michel; DE POUCQUES Ludovic; VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; IMBERT Jean-Christophe; BRETAGNE Jean; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: pulsed magnetron; preionization; transport processes
• Popis: Diagnostika preionizovaneho pulzniho magnetronoveho vyboje

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu